含氟电子特气--八氟环丁烷

宣布日期：2024-06-20 12:52

八氟环丁烷作为芯片工业生产环节用到的主要的一种电子特气，随着我国半导体工业规模一直扩大制程升级，对电子级八氟环丁烷的需求量也一直增添，要求越来越严酷。

八氟环丁烷（Octafluorocyclobutane，又称全氟环丁烷，简称C-318）是美国杜邦公司于20世纪50年月开发的一种特种含氟气体。在常温下，八氟环丁烷是一种无色、无味、不可燃的气体。在通常条件下，八氟环丁烷性子稳固，在高温、高能量或有金属催化的条件下，八氟环丁烷会剖析成氟碳化合物。

由于八氟环丁烷无毒且ODP为零，常取代CFCs被用作混淆制冷剂，以镌汰对大气臭氧层的破损。八氟环丁烷的温室效应指数是六氟化硫的1/3，并且八氟环丁烷气体在匀称电场下的绝缘强度是六氟化硫气体的1.11~1.80倍，因此，八氟环丁烷气体也取代六氟化硫用作高压电器装备中的绝缘介质。

八氟环丁烷温度区间宽泛，也被用作热泵事情流体。另外，八氟环丁烷也被用于大规模集成电路的蚀刻剂以及光纤领域的洗濯剂。近些年，我国半导体工业规模一直扩大，对电子级八氟环丁烷的需求量也一直增添，随着芯片制程尺寸的一直减�。园朔范⊥榈拇慷纫笠苍嚼丛窖峡粒慷鹊执�5N级以上才华知足芯片生产要求.

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